Любимов Александр Иванович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Особенности согласования нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек
   
   ЖТФ, 91:4 (2021),  657–663
2. Влияние асимметрии расположения металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек
   
   Физика и техника полупроводников, 55:12 (2021),  1255–1259
3. Влияние металлических масок на согласование нижнего электрода с высокочастотным генератором смещения при реактивно-ионном травлении массивных подложек
   
   Письма в ЖТФ, 47:11 (2021),  44–47