Панов Михаил Федорович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Определение толщин в карбидкремниевых структурах методом частотного анализа спектра отражения
   
   ЖТФ, 91:5 (2021),  827–831
2. Сравнительный эллипсометрический анализ политипов карбида кремния 4$H$, 15$R$, 6$H$, полученных модифицированным методом Лели в одном ростовом процессе
   
   Письма в ЖТФ, 46:19 (2020),  28–31
3. Исследование методом наноиндентирования твердости и модуля Юнга в тонких приповерхностных слоях карбида кремния со стороны Si- и C-граней
   
   Письма в ЖТФ, 46:15 (2020),  36–38
4. Неразрушающий контроль поверхности, слоев и концентрации носителей заряда в подложках и структурах SiC
   
   ЖТФ, 89:12 (2019),  1869–1874
5. Планаризация поверхности композиции “нанопористый диоксид кремния-диоксид титана” методом атомно-молекулярной химической сборки
   
   ЖТФ, 87:5 (2017),  736–740