Щукин Виктор Геннадьевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Влияние плотности тока на структуру тонких пленок аморфного субоксида кремния при электронно-пучковом отжиге
   
   Прикл. мех. техн. физ., 64:5 (2023),  52–58
2. Измерение температуры расплава кремния при электронно-пучковом рафинировании
   
   Прикл. мех. техн. физ., 64:5 (2023),  39–44
3. Электронно-пучковая кристаллизация тонких пленок аморфного субоксида кремния
   
   Письма в ЖТФ, 47:6 (2021),  26–28
4. Осаждение аморфных и микрокристаллических пленок кремния газоструйным плазмохимическим методом
   
   Физика и техника полупроводников, 53:12 (2019),  1721–1725
5. Осаждение пленок кремния, легированных бором и фосфором газоструйным плазмохимическим методом
   
   Физика и техника полупроводников, 53:1 (2019),  132–136
6. Высокоэффективный источник электронов с полым катодом для технологий осаждения тонких пленок и обработки поверхностей при форвакуумных давлениях
   
   ЖТФ, 88:6 (2018),  914–919
7. Измерение температуры и концентрации вторичных электронов в электронно-пучковой плазме аргона
   
   Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018),  115–122
8. Осаждение пленок кремния с использованием газоструйного плазмохимического метода: эксперимент и газодинамическое моделирование
   
   Прикл. мех. техн. физ., 59:5 (2018),  22–30