Тужилкин Михаил Сергеевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Формирование наночастиц Au и особенности травления подложки Si после облучения атомарными и молекулярными ионами
   
   Физика и техника полупроводников, 54:1 (2020),  90–96