Ковальчук Анатолий Викторович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Исследование влияния атомарного состава на скорость плазмохимического травления нитрида кремния в силовых транзисторах на основе AlGaN/GaN-гетероперехода
   
   Физика и техника полупроводников, 54:8 (2020),  748–752