Ирха Владимир Александрович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Ионно-лучевое осаждение тонких пленок AlN на Al$_{2}$O$_{3}$
   
   Письма в ЖТФ, 45:24 (2019),  21–24
2. Особенности легирования сурьмой в процессе ионно-лучевой кристаллизации кремния
   
   Физика и техника полупроводников, 50:4 (2016),  553–556