Шаповалова Александра Александровна

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Влияние плотности тока на структуру тонких пленок аморфного субоксида кремния при электронно-пучковом отжиге
   
   Прикл. мех. техн. физ., 64:5 (2023),  52–58
2. Высокотемпературный отжиг тонких пленок субоксида кремния, полученных методом газоструйного химического осаждения с активацией электронно-пучковой плазмой
   
   Прикл. мех. техн. физ., 63:5 (2022),  33–41