RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Левин Валерий Львович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Влияние толщины слоя диоксида кремния на процесс электроформовки в открытых “сэндвич”-структурах TiN–SiO
$_{2}$
–W
ЖТФ
,
88
:11 (2018),
1681–1688
©
МИАН
, 2024