RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Зилова Ольга Сергеевна
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Изменение структуры и свойств приповерхностного слоя Si, имплантированного Zn, в зависимости от флюенса облучения ионами
$^{132}$
Xe
$^{26+}$
с энергией 167 МэВ
Физика и техника полупроводников
,
53
:3 (2019),
332–339
©
МИАН
, 2024