RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Erich M
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Влияние зарядового состояния ионов ксенона на профиль распределения по глубине при имплантации в кремний
Физика и техника полупроводников
,
53
:8 (2019),
1030–1036
©
МИАН
, 2024