Бурдовицин Виктор Алексеевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру
   
   ПФМТ, 2022, № 3(52),  97–104