RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Patil Vilas S
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
PEALD grown high-k ZrO
$_{2}$
thin films on SiC group IV compound semiconductor
Физика и техника полупроводников
,
51
:1 (2017),
133
©
МИАН
, 2024