RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Ильницкий Михаил Александрович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Биосенсорные свойства нанопроволочных транзисторов с защитным слоем диэлектрика Al
$_{2}$
O
$_{3}$
, нанесенным методом плазменно-стимулированного атомно-слоевого осаждения
Физика и техника полупроводников
,
50
:5 (2016),
643–649
©
МИАН
, 2024
