Коровин Анатолий Геннадьевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Анализ неравномерности толщины эпитаксиального слоя кремния при осаждении из сублимационных источников в вакууме
   
   Известия высших учебных заведений. Поволжский регион. Физико-математические науки, 2015, № 4,  93–100