RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Непомнящих Вячеслав Алексеевич
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Влияние плотности тока на структуру тонких пленок аморфного субоксида кремния при электронно-пучковом отжиге
Прикл. мех. техн. физ.
,
64
:5 (2023),
52–58
©
МИАН
, 2024
