RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Мазалецкий Л С
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Получение цветного наноструктурированного слоя аморфного кремния при травлении в хлорсодержащей плазме
Письма в ЖТФ
,
49
:8 (2023),
25–28
©
МИАН
, 2025