RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Шевченко А Р
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Влияние избыточного потока водорода в реакторе на PECVD рост углеродных нанотрубок
Физика твердого тела
,
67
:2 (2025),
350–355
Исследование неоднородности свойств тонких пленок нитрида ниобия, полученных методом атомно-слоевого осаждения
ЖТФ
,
95
:1 (2025),
84–89
©
МИАН
, 2025