RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Пешков Ярослав Анатольевич
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Влияние режимов травления на морфологию и состав поверхности многослойного пористого кремния
Физика и техника полупроводников
,
57
:8 (2023),
613–616
©
МИАН
, 2025