RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Глаз О Г
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Оптимизация технологий изготовления структур интегральной фотоники с использованием позитивного электронного резиста AR-P 6200
Оптика и спектроскопия
,
133
:3 (2025),
292–298
©
МИАН
, 2025
