RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Матюхин Н Д
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Демпфированный вакуумный разряд как вариант источника ЭУФ излучения для литографии
ЖТФ
,
95
:7 (2025),
1297–1302
©
МИАН
, 2025
