RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Макаров А В
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Улучшение деградационной стойкости кремниевых наноструктур осаждением алмазоподобных углеродных пленок
Физика и техника полупроводников
,
49
:8 (2015),
1056–1060
©
МИАН
, 2025