RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Thibeault Brian J
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Electrical properties of MOS capacitors formed by PEALD grown Al
$_2$
O
$_3$
on silicon
Физика и техника полупроводников
,
48
:4 (2014),
514–517
©
МИАН
, 2025