RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Гиниятуллин Руслан Маратович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Проблемы измерения параметров элементов и структур современной микро- и наноэлектроники на примере диффузионно-барьерных структур TiN/Ti
Письма в ЖТФ
,
39
:14 (2013),
34–42
©
МИАН
, 2025
