RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Шимловская Диана А
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Разработка технологии создания фотонных интегральных схем с кольцевыми микрорезонаторами на основе структур Si/SiO
$_2$
/Si
$_3$
N
$_4$
Оптика и спектроскопия
,
133
:9 (2025),
957–962
©
МИАН
, 2025
