RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Шутова Н С
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Магнетронный разряд в среде аргона и кислорода при осаждении пленки оксида титана
ЖТФ
,
82
:7 (2012),
134–136
©
МИАН
, 2025
