RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Олейник А В
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Пакет программ для моделирования фотолитографического процесса формирования защитного рисунка с использованием позитивных фоторезистов
Матем. моделирование
,
7
:1 (1995),
110–117
©
МИАН
, 2024
