|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Моделирование прямого травления полимерных резистов пучками тяжелых ионов средних энергий
Матем. моделирование, 3:1 (1991), 11–17
-
Модель прямого травления полимерных резистов с учетом движения полимерной матрицы
Матем. моделирование, 2:3 (1990), 3–14
-
Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии
Матем. моделирование, 2:1 (1990), 56–75
-
Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной
системе с растровым осветителем келлеровского типа
Квантовая электроника, 17:4 (1990), 512–516
-
Моделирование процесса выхода вещества с поверхности облучаемых полимерных резистов
Матем. моделирование, 1:10 (1989), 70–79
-
Численное моделирование травления полимеров в кислородсодержащей атмосфере
Матем. моделирование, 1:2 (1989), 1–13
-
Механизм травления полимерных пленок в низкотемпературной плазме
ЖТФ, 56:7 (1986), 1329–1335
-
Фототравление полимеров в условиях цепной деполимеризации макромолекул
Докл. АН СССР, 280:5 (1985), 1106–1110
-
Комбинационное рассеяние света на фононных солитонах в кристаллах
Физика твердого тела, 25:6 (1983), 1717–1719
-
Переходные процессы при распространении ультракороткого импульса в трехуровневой среде
Квантовая электроника, 4:6 (1977), 1313–1317
© , 2024