RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Пантелеев Е Г
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Моделирование прямого травления полимерных резистов пучками тяжелых ионов средних энергий
Матем. моделирование
,
3
:1 (1991),
11–17
Модель прямого травления полимерных резистов с учетом движения полимерной матрицы
Матем. моделирование
,
2
:3 (1990),
3–14
Моделирование процесса выхода вещества с поверхности облучаемых полимерных резистов
Матем. моделирование
,
1
:10 (1989),
70–79
©
МИАН
, 2024