|
|
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Квантовые компьютеры и квантовые вычисления
УФН, 175:1 (2005), 3–39
-
Квантовые компьютеры: можно ли их сделать ``большими''?
УФН, 169:6 (1999), 691–694
-
Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии
Матем. моделирование, 2:1 (1990), 56–75
-
Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной
системе с растровым осветителем келлеровского типа
Квантовая электроника, 17:4 (1990), 512–516
-
Исследование характеристик эксимерного лазера с узкой линией генерации
Квантовая электроника, 17:1 (1990), 43–45
-
Способ получения синтетических данных для разработки алгоритмов решения обратных задач сейсморазведки
Докл. АН СССР, 309:2 (1989), 311–314
-
Механизм формирования скрытого изображения при импульсном лазерном экспонировании позитивного вуф-резиста на основе ПММА, сенсибилизированного антраценом, и кинетика его проявления
Матем. моделирование, 1:12 (1989), 44–51
-
Метод обработки данных интерферометрического контроля растворения резистных пленок
Матем. моделирование, 1:2 (1989), 160–164
-
Электронно-лучевой метод переноса
на полупроводниковую пластину
рисунка трафаретного шаблона с элементами размером $\sim0.1$ мкм
Письма в ЖТФ, 15:17 (1989), 55–57
-
Применение металлорезинатных пленок в электронной и фотолитографии
Докл. АН СССР, 294:6 (1987), 1358–1362
-
Определение проецированного пробега ионов в полимерных резистах
ЖТФ, 57:9 (1987), 1858–1860
-
Образование пор в ПММА в процессе рентгеновского экспонирования
ЖТФ, 57:7 (1987), 1445–1448
-
Влияние ультрафиолетового облучения на водорастворимость полимерных пленок
Письма в ЖТФ, 13:24 (1987), 1473–1476
-
Траспортировка мягкого рентгеновского излучения по оптическому световоду
Письма в ЖТФ, 13:5 (1987), 257–260
-
Когерентность излучения ХеО-лазера
Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1266–1268
-
Механизм травления полимерных пленок в низкотемпературной плазме
ЖТФ, 56:7 (1986), 1329–1335
-
Фототравление полимеров в условиях цепной деполимеризации макромолекул
Докл. АН СССР, 280:5 (1985), 1106–1110
-
Высоковольтная электронная литография через трафаретные шаблоны
Письма в ЖТФ, 11:17 (1985), 1048–1053
-
Наносекундная одноимпульсная лазерная литография
Письма в ЖТФ, 11:17 (1985), 1025–1030
-
Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии
Квантовая электроника, 12:12 (1985), 2498–2501
-
Фототравление предварительно облученных полимерных пленок
Письма в ЖТФ, 10:10 (1984), 577–581
-
Дозиметрия мягкого рентгеновского излучения
и вакуумного ультрафиолета,
основанная на эффекте фототравления
ЖТФ, 53:3 (1983), 583–585
-
Использование скользящего разряда
для размерной обработки тонких
полимерных слоев ВУФ фототравлением
Письма в ЖТФ, 9:16 (1983), 990–994
-
Современная полупроводниковая микроэлектроника и перспективы ее развития
УФН, 109:4 (1973), 765–768
-
Вращательное броуновское движение
УФН, 109:1 (1973), 31–64
-
Кев Минуллинович Салихов (к семидесятилетию со дня рождения)
УФН, 176:11 (2006), 1243–1244
-
К семидесятипятилетию Станислава Васильевича Емельянова
Дифференц. уравнения, 40:5 (2004), 579–581
-
Памяти Владимира Марковича Елеонского
УФН, 173:4 (2003), 457–458
-
Памяти Георгия Викторовича Скроцкого
УФН, 162:12 (1992), 175–178
-
Александр Михайлович Прохоров (К семидесятилетию со дня рождения)
УФН, 149:3 (1986), 577–578
-
Памяти Семена Александровича Альтшулера
УФН, 141:3 (1983), 559–560
-
Семен Александрович Альтшулер (К семидесятилетию со дня рождения)
УФН, 135:3 (1981), 525–526
© , 2024