RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Илькаев Д Р
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Моделирование и оптимизация оптических схем установок фотолитографии
Матем. моделирование
,
2
:1 (1990),
56–75
Влияние пространственной когерентности лазерного излучения на качество изображения в проекционной системе с растровым осветителем келлеровского типа
Квантовая электроника
,
17
:4 (1990),
512–516
©
МИАН
, 2024