Богданов А Л

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Механизм формирования скрытого изображения при импульсном лазерном экспонировании позитивного вуф-резиста на основе ПММА, сенсибилизированного антраценом, и кинетика его проявления
   
   Матем. моделирование, 1:12 (1989),  44–51
2. Метод обработки данных интерферометрического контроля растворения резистных пленок
   
   Матем. моделирование, 1:2 (1989),  160–164
3. Наносекундная одноимпульсная лазерная литография
   
   Письма в ЖТФ, 11:17 (1985),  1025–1030
4. Особенности использования импульсных УФ лазеров в фотолитографии
   
   Квантовая электроника, 12:12 (1985),  2498–2501