RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Пряхин Дмитрий Александрович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Получение слоев нанокристаллического кремния методом стимулированного плазмой осаждения (PECVD) из газовой фазы тетрафторида кремния
Письма в ЖЭТФ
,
89
:2 (2009),
80–83
©
МИАН
, 2024
