Рентгеновская оптика, ЭУФ литография, ионно-пучковое травление, изучение шероховатости поверхности.
Основные публикации:
S.S. Andreev, M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.Ya. Lopatin, V.I. Luchin, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, “Application of free-standing multilayer films as polarizers for X-ray radiation”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 543 (2005), 340–345
M.S. Bibishkin, N.I. Chkhalo, A.A. Fraerman, A.E. Pestov, K.A. Prokhorov, N.N. Salashchenko, Yu.A. Vainer, “Ultra-short period X-ray mirrors: Production and investigation”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 543 (2005), 333–339
Вайнер Ю.А., Пестов А.Е., Прохоров К.А., Салащенко Н.Н., Фраерман А.А., Чернов В.В., Чхало Н.И., “Исследование поперечной корреляции шероховатостей границ в многослойных структурах с ульра-короткими периодами”, Журнал экспериментальной и теоретической физики, 130:3 (2006), 401–408
S.S. Andreev, M.M. Barysheva, N.I. Chkhalo, S.A. Gusev, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, N.N. Salashchenko, L.A. Shmaenok, Yu.A. Vainer, S.Yu. Zuev, “Multilayered mirrors based on La/B4C(B9C) for X-ray range near anomalous dispersion of boron ($l\approx 6.7nm$)”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 603 (2009), 80–82
N.I. Chkhalo, E.B. Kluenkov, A.E. Pestov, V.N. Polkovnikov, D.G. Raskin, N.N. Salashchenko, L.A. Suslov, M.N. Toropov, “Manufacturing of XEUV mirrors with a sub-nanometer surface shape accuracy”, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A, 603 (2009), 62–65
