Публикации в базе данных Math-Net.Ru
-
Влияние степени легирования алюминием на свойства пленок оксида титана-алюминия
ПФМТ, 2023, № 2(55), 74–82
-
Особенности реактивного магнетронного нанесения пленок оксида тантала при различных способах подачи газа в камеру
ПФМТ, 2022, № 3(52), 97–104
-
Формирование пленок оксида тантала на подложках диаметром 200 миллиметров
ПФМТ, 2020, № 1(42), 12–17
-
Диэлектрические свойства пленок оксида тантала, нанесенных методом реактивного магнетронного распыления
ПФМТ, 2019, № 2(39), 15–20
-
Сегнетоэлектрические свойства пленок танталата стронция-висмута, нанесенных методом ВЧ магнетронного распыления
ПФМТ, 2018, № 1(34), 33–37
-
Сегнетоэлектрические свойства пленок легированного ниобием танталата стронция-висмута
Физика твердого тела, 58:1 (2016), 51–55
-
Формирование пленок нитрида титана методом реактивного магнетронного распыления при пониженном давлении
ПФМТ, 2016, № 2(27), 12–17
-
Прогнозирование эрозии мишени магнетронных распылительных систем
ПФМТ, 2010, № 2(3), 62–67
© , 2024