RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Пивоваренок Сергей Александрович
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
О необходимости учета гетерогенной рекомбинации атомов при изучении кинетики травления меди в плазме хлора
ТВТ
,
59
:5 (2021),
650–656
Гетерогенная рекомбинация атомов на образцах алюминия в плазме хлора
ТВТ
,
55
:3 (2017),
476–479
Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии
Физика и техника полупроводников
,
50
:2 (2016),
167–170
Влияние состава смеси на электрофизические параметры и спектры излучения плазмы
$\mathrm{HCl}$
–
$\mathrm{O}_2$
и
$\mathrm{HCl}$
–
$\mathrm{Ar}$
ТВТ
,
49
:4 (2011),
509–512
©
МИАН
, 2024