Мурин Дмитрий Борисович

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. О необходимости учета гетерогенной рекомбинации атомов при изучении кинетики травления меди в плазме хлора
   
   ТВТ, 59:5 (2021),  650–656
2. Исследование поверхности GaAs после травления в плазме высокочастотного и тлеющего разрядов методом атомно-силовой микроскопии
   
   Физика и техника полупроводников, 50:2 (2016),  167–170
3. Влияние состава смеси на электрофизические параметры и спектры излучения плазмы $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{O}_2$ и $\mathrm{HCl}$–$\mathrm{Ar}$
   
   ТВТ, 49:4 (2011),  509–512