RUS
ENG
Полная версия
ПЕРСОНАЛИИ
Угаров М В
Публикации в базе данных Math-Net.Ru
Химическое осаждение пленок нитрида бора из газовой фазы, стимулированное импульсами УФ излучения эксимерного KrF-лазера
Квантовая электроника
,
22
:7 (1995),
706–710
©
МИАН
, 2024