Михайленко Михаил Сергеевич

Публикации в базе данных Math-Net.Ru

1. Методы измерений шероховатостей и их специфика применительно к высокоточным подложкам для рентгеновских зеркал
   
   ЖТФ, 96:10 (2026),  2146–2154
2. Исследование топологии олово-оксокластерных соединений, проэкспонированных ЭУФ излучением с длиной волны 13.55 nm
   
   ЖТФ, 96:10 (2026),  2111–2118
3. Пороговое поведение шероховатости поверхности монокристаллического кремния при распылении ионами криптона
   
   ЖТФ, 96:10 (2026),  2029–2039
4. Компактный масс-спектрометр для контроля ионной коррекции формы поверхности
   
   ЖТФ, 96:10 (2026),  2011–2018
5. Двухзеркальный монохроматор для синхротрона “СКИФ” поколения 4+
   
   ЖТФ, 95:10 (2025),  1963–1972
6. Фокусирующая система Киркпатрика–Баеза для синхротронных применений
   
   ЖТФ, 95:10 (2025),  1954–1962
7. Применимость интерферометров белого света для измерения шероховатости рентгенооптических элементов
   
   ЖТФ, 95:10 (2025),  1887–1897
8. Установка ионно-пучковой коррекции и асферизации формы поверхности оптических элементов УИП-300
   
   ЖТФ, 95:9 (2025),  1825–1835
9. Изучение угловых зависимостей скоростей ионно-пучкового распыления металлов для синтеза заготовок фотошаблонов
   
   ЖТФ, 93:7 (2023),  1051–1053
10. Изучение влияния энергии ионов неона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния при ионном травлении
    
    ЖТФ, 93:7 (2023),  1046–1050
11. Нанесение жидкого стекла на подложки оптических элементов и его молекулярный состав
    
    ЖТФ, 93:7 (2023),  1037–1045
12. Подложки для мягкой рентгеновской микроскопии на основе Si$_3$N$_4$ мембран
    
    ЖТФ, 93:7 (2023),  1032–1036
13. Внеосевой асферический коллектор для экстремальной ультрафиолетовой литографии и мягкой рентгеновской микроскопии
    
    ЖТФ, 93:7 (2023),  963–967
14. Перспективы применения реактивного ионно-пучкового травления плавленого кварца смесью тетрафторметана и аргона для асферизации поверхности оптических элементов
    
    ЖТФ, 92:8 (2022),  1248–1252
15. Алмаз-карбид-кремниевый композит “скелетон” как перспективный материал для подложек рентгенооптических элементов
    
    ЖТФ, 92:8 (2022),  1238–1242
16. Модель физического распыления аморфных материалов
    
    ЖТФ, 92:8 (2022),  1230–1237
17. Изучение влияния энергии ионов аргона на шероховатость поверхности основных срезов монокристаллического кремния
    
    ЖТФ, 92:8 (2022),  1219–1223
18. Линзовый корректор волнового фронта для изучения плоских поверхностей
    
    ЖТФ, 91:10 (2021),  1583–1587
19. Ионно-пучковые методики прецизионной обработки оптических поверхностей
    
    ЖТФ, 90:11 (2020),  1922–1930
20. Подготовка поверхности материалов для создания композитных оптических элементов
    
    ЖТФ, 90:11 (2020),  1913–1916
21. Модификация и полировка штриха голографической дифракционной решетки пучком нейтрализованных ионов Ar
    
    ЖТФ, 90:11 (2020),  1864–1869
22. Повышение дифракционной эффективности решеток-эшелеттов за счет полировки поверхности штриха ионно-пучковым травлением
    
    Письма в ЖТФ, 42:16 (2016),  34–40