А. Б. Данилин, М. Н. Кузнецов, А. А. Майоров, В. А. Путинцев, И. Б. Ядыкин, “Адаптивное управление термическим испарением в вакууме”, Автомат. и телемех., 1985, выпуск 4,страницы 81

Адаптивные системы

Адаптивное управление термическим испарением в вакууме

А. Б. Данилин, М. Н. Кузнецов, А. А. Майоров, В. А. Путинцев, И. Б. Ядыкин

Москва

Аннотация: Рассматривается задача адаптивного управления процессом термического осаждения тонких пленок. Дается описание промышленной установки с микропроцессорной реализацией предложенных алгоритмов управления.

УДК: 62-506, 539.234

Поступила в редакцию: 12.04.1984