Оценка структурного состояния тонких поверхностных слоев аморфных сплавов

Исследована зависимость формы концентрационных профилей элементов от структурного состояния тонких (${}<10$ нм) поверхностных слоев аморфных сплавов. Показано, что искажения формы концентрационных профилей, обусловленные различием коэффициентов распыления разных элементов и различием коэффициентов распыления одного элемента в составе разных химических соединений и фаз, позволяет получать дополнительную информацию о структурном состоянии тонких поверхностных слоев аморфных сплавов. Аморфным поверхностным слоям соответствуют монотонные профили, а закристаллизованным - осциллирующие.