Моделирование электрохимической стадии процесса формирования острий СТМ-зондов

В статье рассмотрены вопросы моделирования электрохимического этапа изготовления зондирующих острий сканирующего туннельного микроскопа. Разработанная модель электрохимического травления опирается на процессы, описываемые уравнениями математической физики, при этом учитываются гидродинамические, тепловые и диффузионные процессы, а также распределение потенциала электрического поля, обеспечивающего протекание на заготовке иглы электрохимической реакции. Показано, что параметры этой реакции существенно влияют на форму «шейки» заготовки СТМ-зондов.