Аннотация:
Проведены исследования пленок аморфного гидрогенизированного кремния, полученных струйным плазмохимическим способом, определена ширина запрещенной зоны, вычислена концентрация водорода в пленках, а также определена зависимость ширины запрещенной зоны от концентрации водорода и температуры подложки.
Ключевые слова:аргон-силановая плазма, тлеющий разряд, струйный плазмохимический способ, ширина запрещенной зоны, структура пленок, осаждение тонких пленок, тонкие пленки аморфного кремния.
Полный текст:
PDF файл (395 kB)