КВАНТОВЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ
Тонкие плeнки сульфида кадмия для фотовольтаики
И. А. Петуховa,
Д. А. Зуевb,
А. В. Шороховаb,
Л. С. Паршинаb,
О. А. Новодворскийb,
О. Д. Храмоваb,
А. А. Лотинb,
Ф. Н. Путилинc,
В. Ф. Козловскийd,
В. К. Ивановe,
М. Н. Румянцеваd,
А. М. Гаськовd a МГУ им. М.В. Ломоносова
b Институт проблем лазерных и информационных технологий РАН (ИПЛИТ РАН), г. Шатуpа Московской обл.
c Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, факультет фундаментальной физико-химической инженерии
d Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, химический факультет
e Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова РАН, г. Москва
Аннотация:
Задача: Одной из важнейших задач сегодня является повышение эффективности преобразования солнечной энергии. Существенное место среди солнечных элементов занимают многослойные тонкоплeночные структуры TCO/A
$^2$B
$^6$ (TCO - прозрачное проводящее покрытие), на основе которых изготавливают солнечные элементы второго поколения. Наиболее широкое применение для создания широкозонного оконного слоя в таких структурах получил прямозонный полупроводник n-типа сульфид кадмия (CdS). Данная работа посвящена исследованию влияния плотности энергии на мишени и температуры подложки на фазовый состав, микроструктуру и оптические свойства тонких плeнок CdS, осаждeнных на стеклянные подложки методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). Методология: Метод импульсного лазерного осаждения (ИЛО) позволяет получать высококачественные тонкоплeночный покрытия при более низких температурах подложки по сравнению с другими физическими методами парового осаждения. Метод также даeт возможность управления свойствами осаждаемых плeнок, таких как фазовый состав и толщина, путeм подбора параметров, таких как температуры подложки (T
$_s$) и плотности энергии лазерного импульса на мишени (J). Обсуждение результатов: Методом ИЛО получены тонкие плeнки CdS на стеклянных подложках. По данным РФА установлено, что плeнки CdS представляют собой смесь двух фаз: кубической фазы со структурой сфалерита и гексагональной фазы со структурой вюрцита. Повышение температуры подложки до 500
$^o$С приводит к образованию гексагональной фазы CdS, увеличению размеров кристаллитов и появлению видимых границ кристаллических зeрен. Увеличение плотности энергии лазерного импульса на мишени в диапазоне J=1.5-5.5 Дж/см
$^2$ также приводит к изменению фазового состава CdS - к увеличению относительного содержания гексагональной фазы. Таким образом, метод ИЛО даeт возможность управления физическими свойствами CdS путeм варьирования температуры подложки (T
$_s$) и плотности энергии лазера на мишени (J). Практическое значение: Метод импульсного лазерного осаждения (ИЛО) позволит получать многослойные тонкоплeночные структуры для фотоэлектронных преобразователей. Исследована возможность управления физическими свойствами тонких пленок полупроводника n-типа сульфида кадмия (CdS) путeм подбора параметров импульсного лазерного осаждения (ИЛО) - температуры подложки (T
$_s$) и плотности энергии лазера на мишени (J).
Ключевые слова:
тонкие плeнки, сульфид кадмия, импульсное лазерное осаждение, фотовольтаика.