С. А. Раджапов, Б. С. Раджапов, Р. Х. Рахимов, “Особенности технологии изготовления кремниевых поверхностно-барьерных детекторов большой чувствительной рабочей площадью для измерения активности естественных изотопов”, Comp. nanotechnol., 2018, выпуск 1,страницы 151

ПЛАЗМЕННЫЕ, ВЫСОКОЧАСТОТНЫЕ, МИКРОВОЛНОВЫЕ И ЛАЗЕРНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ

Особенности технологии изготовления кремниевых поверхностно-барьерных детекторов большой чувствительной рабочей площадью для измерения активности естественных изотопов

С. А. Раджапов^a, Б. С. Раджапов^a, Р. Х. Рахимов^b

^a Физико-технический институт НПО «Физика-Солнце» АН РУз
^b Институт материаловедения. Научно-производственное объединение «Физика-Солнце» Академии наук республики Узбекистан

Аннотация: В статье рассмотрены вопросы особенностей разработки технологии изготовления поверхностно-барьерных детекторов (ПБД) большого диаметра, а также исследования электрофизических и радиометрических характеристик.

Ключевые слова: полупроводниковый поверхностно-барьерный детектор, монокристаллический кремний n-типа, альфа излучение.