РАЗРАБОТКА ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ НАНОМАТЕРИАЛОВ НА ОСНОВЕ НАНОЧАСТИЦ И ПОЛИМЕРНЫХ НАНОСТРУКТУР
Особенности электрофизических свойств гетеропереходов n-GaAs-p-(GaAs)$_{1-x-y}$(Ge$_{2}$)$_{x}$(ZnSe)$_{y}$
С. З. Зайнабидинов,
А. Й. Бобоев,
Д. П. Абдурахимов Андижанский государственный университет
Аннотация:
Определены оптимальные технологические условия выращивания многокомпонентных эпитаксиальных пленок твердых растворов (GaAs)
$_{1-x-y}$(Ge
$_{2}$)
$_{x}$(ZnSe)
$_{y}$ с заданными физическими свойствами методом жидкофазной эпитаксии. Установлено, что наиболее оптимальными являются приведенные условия выращивания тонких пленок из оловянного раствора-расплава в диапазоне значений температуры 730-630, 650-550
$^{\circ}$ С со скоростью охлаждения подложки 1 град/мин. При этом пленки имели толщину 10 мкм и p-тип проводимости. Для омических контактов к таким полупроводниковым твердым растворам использованы Sn, Au, In, сплавы (In-Ga) и (Ge-Ag). Определено, что подвижность носителей тока зависит от состава, структурного совершенства эпитаксиальных слоев и энергии ионизации атомов составляющих компонентов, которые имеют значения 0,19, 0,07, 0,029 эВ. Установлено, что в гетероструктурах типа n-GaAs-p-(GaAs)
$_{1-x-y}$(Ge
$_{2}$)
$_{x}$(ZnSe)
$_{y}$, полученных при температуре 750
$^{\circ}$ С токопрохождение определяется туннельно-рекомбинационным зарядом, а в образцах, полученных при температуре 730
$^{\circ}$ С — токами ограниченными объемными зарядами. Определено также, что на гетерогранице образуется область с более высоким удельным сопротивлением, толщина которого в зависимости от условий роста тонких пленок, от 0,2 до 0,5 мкм.
Ключевые слова:
твердый раствор, гетероструктура, подвижность, концентрация, вольтамперная и вольт-емкостная характеристика, эпитаксиальная пленка, кристаллизация. Поступила в редакцию: 10.05.2022
DOI:
10.33693/2313-223X-2022-9-2-73-79