RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Компьютерная оптика // Архив

Компьютерная оптика, 2020, том 44, выпуск 6, страницы 917–922 (Mi co864)

Эта публикация цитируется в 2 статьях

ДИФРАКЦИОННАЯ ОПТИКА, ОПТИЧЕСКИЕ ТЕХНОЛОГИИ

Моделирование ввода излучения в плоские линейные волноводы с помощью дифракционных решёток для новой технологии изготовления волноводных систем

В. С. Соловьёвa, С. П. Тимошенковa, А. С. Тимошенковa, А. И. Виноградовa, Н. М. Кондратьевb, Н. А. Расщепкинаc

a Национальный исследовательский университет «МИЭТ», г. Москва, Россия
b Российский квантовый центр «ООО МЦКТ», г. Москва, д. Сколково, Россия
c Самарский государственный технический университет, г. Самара, Россия

Аннотация: Произведено моделирование и выбор оптимальных параметров дифракционной решётки для новой разработанной технологии изготовления плоских волноводных систем. В отличие от использования готовых пластин «кремний на изоляторе», разработана новая технология изготовления полностью автономной системы ввода излучения, согласующего элемента и собственно волновода. Приведено общее описание технологии системы «ввод излучения – распространение – вывод излучения». Найдены конкретные технологические параметры высоты решётки, подстилающего и покровного слоёв. Эффективность ввода в волновод составила 30 % за счёт подбора оптимального расстояния от волновода до кремниевой подложки, которая работает как зеркальный слой.

Ключевые слова: линейный волновод, кольцевой резонатор, ввод излучения, волноводная структура, WGM-резонатор, дифракционная решётка.

Поступила в редакцию: 17.03.2020
Принята в печать: 16.10.2020

DOI: 10.18287/2412-6179-CO-718



© МИАН, 2024