КРИСТАЛЛОГРАФИЯ

Структура окисных пленок, полученных бомбардировкой поверхности кремния ионами кислорода

П. В. Павлов, Э. В. Шитова

Горьковский исследовательский физико-технический институт Горьковского государственного университета им. Н. И. Лобачевского

УДК: 539.235

Статья представлена к публикации: Н. В. Белов
Поступило: 01.03.1966