КРИСТАЛЛОГРАФИЯ

Кристаллизация аморфных пленок двуокиси кремния при ионной бомбардировке и последующем отжиге

П. В. Павлов, Э. В. Шитова, Е. И. Зорин

Горьковский исследовательский физико-технический институт Горьковского государственного университета им. Н. И. Лобачевского, г. Горький

УДК: 539.235

Статья представлена к публикации: Н. В. Белов
Поступило: 20.10.1969