ФИЗИКА

Функция распределения электронов в высокочастотном разряде низкого давления

А. В. Елецкий

Институт атомной энергии им. И. В. Курчатова

УДК: 537.525:546.292

Статья представлена к публикации: И. К. Кикоин
Поступило: 31.12.1971