КРИСТАЛЛОГРАФИЯ

Влияние избыточного кремния на образование $\alpha$-$\mathrm{Si}_3\mathrm{N}_4$ при ионной имплантации азота

П. В. Павлов

Горьковский исследовательский физико-технический институт Горьковского государственного университета им. Н. И. Лобачевского

УДК: 539.1.043+539.213+539.27

Статья представлена к публикации: Н. В. Белов
Поступило: 06.03.1978